在使用油擴散泵或分子泵的高真空環境中，都存在著一定的殘余氣體，80%以上是水蒸汽、油蒸氣及其它高沸點的氣體，但機械泵抽除殘余氣體的能力低、時間長。而且殘余氣體還是工件的污染源，影響產品的產量和質量。

水蒸氣、油蒸氣是真空鍍膜領域及高真空獲得領域的主要危害氣體。

（1）由于水蒸氣和油蒸氣的存在，導致抽真空時間變長，真空系統無法迅速達到目標真空度，生產效率下降；所需真空度越高，環境濕度越大，影響越明顯。

（2）同時，水蒸氣，油蒸氣的存在，會導致膜層牢固度下降，無法多層鍍膜，顏色不均一等影響產品質量現象發生。

（3）水蒸氣在某些條件下還會電離，產生氧氣，使靶材氧化，導致鍍膜顏色發生變化。

深冷水汽捕集泵，是解決以上問題的上佳選擇。

深冷水汽捕集泵的工作原理，是依照麥森納捕集原理（Principle of Meissner trapping），使水汽分子在低溫盤管（Cryocoil）的超低溫表面上凝結，有效地吸附水蒸氣，達到捕集水汽的目的。

深冷水汽捕集泵的具體應用：將一個-100℃以下的低溫盤管，放置在真空室中或油擴散泵的泵口，通過其表面的低溫冷凝效應，迅速捕集真空系統的殘余氣體，從而大大縮短抽真空的時間（可縮短60-90%的抽氣時間），獲得潔凈的真空環境（真空度可提高半個數量級，達到10-8 Torr、10-5 Pa)。

 在實際應用中，根據低溫表面所放置的位置不同，一般可以分為兩類 ：

A、低溫盤管（水汽捕集器）

低溫盤管經常被安裝在高閥與真空腔之間或真空腔內、卷繞鍍膜上下室內等部位。非常適用于塑料低溫鍍膜、卷繞鍍膜等被鍍膜材料放氣量較大的場合。低溫盤管需要有加熱除霜功能，使盤管在每次破真空之前恢復到常溫，避免低溫盤管從大氣中吸收大量的水汽而結霜，影響下一個產品周期的抽真空時間。

B、低溫擋板（冷阱）

放置在油擴散泵的泵口、高閥以下，主要功能是防止油擴散泵的油氣返流，同時也可以加快抽速、提高真空度。由于系統處于真空狀態，無需除霜功能。

 根據需要，低溫盤管和低溫擋板，可以分別安裝，也可以同時安裝。

VaporCold水汽捕集泵的主要作用：

縮短抽真空時間 提高鍍膜品質

VaporCold水汽捕集泵的主要特點：

1、快速捕集水汽、油氣、可縮短抽真空時間60-90%；

2、提高鍍膜質量，防返油、不脫落、顏色純正；

3、降溫快，3分鐘內制冷到-100℃，最低可達-150℃；

4、升溫快，3分鐘熱氣除霜，迅速回溫；

5、制冷系統優化設計，3分鐘可再次降溫;

6、彩色觸摸屏與工業PLC組合，歷史記錄可查詢；

7、國際品牌制冷壓縮機，環保混合制冷劑；

8、國際標準接口，可設計為單路或兩路負載輸出；

9、單路或兩路負載入口溫度和出口溫度的顯示和記錄；

10、內部溫度、水冷溫度、排氣溫度、排氣壓力的顯示和記錄；

11、除霜溫度自由設定，除霜結束后自動提示；

12、壓縮機溫度過高、壓力過高報警保護；

13、水冷不足、水溫過高報警保護；

14、閥門箱前置，方便操作，避免冷凝水泄漏；

15、本地、遠程自由轉換，便于機臺組合控制；

16、配置RS485通信接口，方便連接上位機。

長流儀器研發生產的VaporCold -135℃深冷水汽捕集泵，采用成熟的核心技術、可靠的設計方案、進口品牌制冷壓縮機及制冷配件、環保混合制冷劑、自動復疊制冷。制冷速度快、效率高、溫度低、維護方便。其設計和制造與國際技術水平同步，性能指標達到甚至超過同類進口機型，可實現對進口機型的直接替換。

長流儀器提供完整的水汽捕集方案，幫助客戶提高生產效率、減少生產費用, 改進制程表現, 提高產品質量和產量。